1、外形美观，实用性强，操作简便；

2、采用耐腐抛光不锈钢管，或耐腐聚四氟乙烯管；

3、可靠的混气装置，可保证气体混合的均匀性；

4、均采用标准尺寸接头，确保其通用性；

5、多路气体混合可咨询沟通定制；

电炉型号

SGM-2Z

SGM-3Z

SGM-4Z

流量计类型

质子流量控制器

管道示意图

采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选）

进气接口数量

（多路可定制）

2

3

4

接口尺寸

1/4”双卡套接头

测量精度

±1、0%F.S

流量计测量范围

50、100、200、500Sccm可选

压差范围

0.05-0.4MPa

净重

35KG

设备使用注意事项

1、确保管道内压力＜0.15MPa；

2、气柜连接好气瓶后要用肥皂水进行检漏测试；

服务支持

1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件）。