1200℃微型二通道混气CVD系统OTF-1200℃ S50- 2F
1200℃微型二通道混气CVD系统OTF-1200℃- S50- 2F
1200℃微型二通道混气CVD系统OTF-1200℃- S50- 2F 的详细介绍
OTF-1200℃-S50-2F迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6、35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温度为+/-1 ℃ 。
技术参数
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高温炉 |
壳体 |
采用双层壳体 炉膛采用多晶氧化铝纤维，程度减小能量损失 内炉膛表面涂有1750℃氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 |
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（点击图片查看详情） |
功率 |
1、75KW |
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电压 |
AC-220V |
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温度 |
额定温度：1200℃（< 1hr） 连续工作温度1100 ℃ 升温速率 <= 10C/min | |
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炉管 |
石英管50x43x450mm(O.DxI.DxLength) |
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加热区 |
加热区长度:8"(200mm) 恒温区长度:2、3"(60mm)(+/-1°C)@900°C 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 | |
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温控系统 |
PID30段程序化控温 控温精度:+/-1℃ 控温仪表操作视频 | |
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加热元件 |
掺钼铁鉻铝（表面涂有氧化锆涂层，使其程度延长使用寿命） |
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两路混气系统 |
两个浮子流量计量程为16 —100mL/min
-0.1-0.15MPa,(0.01MPa/grit)
三个机械压力表：-0.1-0.15MP
混气箱上安装有一不锈钢针阀
后端装有φ6、35卡套接头，无需通电
外型尺寸:340Lx300Dx180H,mm(13、4"x12"x7").
净重:14lbs.
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真空法兰和配件 |
结构
左法兰 右法兰 标准真空配件: 一个防腐型真空计 一个φ6、35的卡套接头 两个KF25转接头 一个600mm的不锈钢波纹管 |
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| 防腐型真空计 |
本公司的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3、8x10-5 至 1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
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真空泵 |
我公司有多种真空泵可选，请点击图片，或是致电我公司销售
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电炉净重 |
100lbs |
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电炉尺寸 |
炉体:340x300x400mm 真空泵:440x160x300mm 混气系统:340x300x180mm | |
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运输重量 |
200lbs |
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| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
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质保期 |
一年质保期（不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件） |
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CE认证
所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
若客户出认证费用，本公司保证单
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| 使用注意事项： | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
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