1200°C二通道混气高真空CVD系统 OTF-1200℃HVC
1200°C二通道混气高真空CVD系统OTF-1200℃-HVC
1200°C二通道混气高真空CVD系统 OTF-1200℃-HVC 的详细介绍OTF-1200℃HVC是由OTF-1200℃-单温区管式炉，二路质子混气系统和高真空机组组成。其额定温度可达1200℃，极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行的混气，然后导入到管式炉内部。
技术参数
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OTF-1200℃系列 管式炉 |
壳体结构 |
采用双层壳体结构，并带有风冷.使得壳体表面的温度小于60度 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 |
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炉管 |
材质: 高纯石英管 石英管包含在内. 可以选择其他管径 | |
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功率 |
2、5KW |
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工作电压 |
AC208-240V 单相,50/60Hz |
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加热元件 |
Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo，（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，程度的延长加热元件的使用寿命） |
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工作温度 |
额定温度.:1200°C 连续工作温度:1100°C | |
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加热速率 |
加热速率:1~20°C/min 可编程 |
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加热区长度 |
总加热区长度:440mm 恒温区长度.:150mm(±1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 | |
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控温系统 |
PID自动控制方式，可设置30段升降温程序 控温仪表操作视频 控温精度:±1°C 热电偶:K 型已经安装在炉内 | |
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真空密封 |
一对不锈钢真空密封法兰，已经安装 法兰上已经安装机械压力表 一对精密针阀 KF-40 的抽气接口 | |
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功率 |
100~110W |
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工作电压 |
AC208-240V,50/60Hz |
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高真空机组 |
壳体 |
壳体尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm 承载量:600Lbsontopf: 分子泵显示屏： LCD 数字显示 壳体内安装有一台德国制造的分子泵 |
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抽气速率 |
N233L/s He39L/s(2340L/minute) H232L/s | |
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工作范围 |
1000mbarto<1E-7 mbar |
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极限 |
<1E-8 mbar (无泄漏) |
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质量流量控制器 |
壳体 |
采用 316不锈钢制作 混气箱尺寸:Φ80℃120mm 外形尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm |
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功率 |
18W |
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工作电源 |
AC208-240V,Singlephase,50/60Hz |
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| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
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质保期 |
一年质保期，相关耗材除外，如炉管密封圈加热元件等易耗件 |
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CE认证
所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
若客户出认证费用，本公司保证单
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| 使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
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