1700°C二通道混气高真空CVD系统SGL-1700℃HVC
1700°C二通道混气高真空CVD系统SLG-1700℃-HVC
1700°C二通道混气高真空CVD系统SGL-1700℃-HVC 的详细介绍SLG-1700℃-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统，它是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其额定温度可达1600℃，极限真空度可达 to10^-5torr。混气系统可以对两种气体进行的混气，然后导入到管式炉内部。
技术参数|
SGM-1700℃ 系列管式炉 |
壳体 |
采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度 < 55°C. 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，减少热量的损失 真空泵和气体混合系统位于移动架上，方便移动. 仪器上已经安装高真空法兰，阀门，高真空机组 | ||||
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炉管 |
材质: 高纯氧化铝陶瓷管 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上 （标配尺寸）(60mm)O.D.xI.D.(50mm)x1000mm L （选配尺寸） (80mm)O.D.xI.D.(70mm)x1000mmL | |||||
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功率
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6KW |
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工作电压
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AC208-240V单相,50/60Hz |
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加热元件
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8 根1800°CgradeMoSi2heatingelement |
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工作温度 |
额定温度.:1650°C 连续工作温度.:1600°C | |||||
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升温速率
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≤5°C/min |
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加热区长度 |
加热区长度:457mm(18") 恒温区长度:150mm(6")(+/-1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 | |||||
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温控系统 |
采用PID方式自动控制，并可设置30段升降温程序 控温精度:±1°C 控温仪表操作视频 热电偶:B 型，已经安装在炉内 | |||||
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真空法兰 |
一对不锈钢真空密封法兰已经安装 法兰上带有一机械压力表 两个精密针阀 一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口 一个1/4"卡套接头 | |||||
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外形尺寸
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550x380x520mm |
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高真空机组 |
功率
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100~110W |
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工作电压
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AC208-240V单相,50/60Hz |
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外形尺寸
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600(L)x600(W)x700(H),mm |
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壳体 |
壳体尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm 承载量:600Lbsontop 分子泵控制面板:LCD 数字显示 内装有一 PfeiffervacuumpumpmadeinGermany: | |||||
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控制面板 |
一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动）
系统控制旋转速率：根据炉体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
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抽气速率 |
N233L/s He39L/s(2340L/minute) H232L/s | |||||
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工作范围
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1000mbarto<1E-7 mbar |
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极限
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<1E-8 mbar (without any leaking ) |
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质量流量控制器 |
壳体 |
采用 316不锈钢制作
混气箱尺寸:Φ80℃120mm
外形尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm
MFC控制面板 (Clicktoenlarge)，可根据客户要求定制
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功率
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18W |
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工作电压
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AC208-240V, 单相,50/60Hz |
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质保期 |
一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件 |
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CE认 所有电器元件（＞24V）都通过了UL/MET/CSA认证 若客户出认证费用，本公司保证单 | |||||
Operation Manual
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