名称

双通道

三通道

四通道

五通道

质量流量控制器

工作温度：5~45ºC
额定压力:3x106Pa
精度:&±1、5%FS
线性:&±（0.5-1、5）%F.S

重复精度:&±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199SCCM
二路:1~499SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度：5~45ºC
额定压力:3x106Pa
精度:&±1、5%FS
线性:&±（0.5-1、5）%F.S
重复精度:&±0.2%F.S.
流量范围:
一路:0~100SCCM
二路:1~199SCCM
三路:1~499SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度:5~45ºC
额定压力:3x106Pa
精度:&±1、5%FS
线性:&±（0.5-1、5）%F.S.

重复精度:&±0.2%F.S.
流量范围:
一路:0~100SCCM
二路:1~199SCCM
三路:1~199SCCM
四路:1~499SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度:5~45ºC
额定压力:3x106Pa
精度:&±1、5%FS
线性:&±（0.5-1、5）%F.S.
重复精度:&±0.2%F.S.
流量范围:
一路:0~100SCCM
二路:1~199SCCM
三路:1~199SCCM
四路:1~499SCCM
五-九路可按照客户要求定制

输入电源

AC220V/50Hz单相

功率

23W

PLC触摸屏

· 各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上

·RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制

机械压力表

·有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

· 量程:-0.1~0.15MPa

针阀

316不锈钢

通气管道

· 内部连接管道为Φ不锈钢管

·外部通气管道为Φ聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

·316不锈钢针阀

Φ6mm不锈钢管

外形尺寸

600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期，终身维护