双温区滑轨式CVD系统(含预热器) CVD1200℃-II-SL 200D50-5Z
双温区滑轨式CVD系统(含预热器) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z
设备描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含预热器) 双温区滑轨式CVD系统设备由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；PLC控制5路质子流量器，能够精度控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD（化学气象沉积系统）常用于表面材料生长、沉积，是一款实验室常用设备。
开启式管式炉膛由两个半圆形炉体合成，开启方便，专门设计用于对物料需要预抽真空条件下进行烧结；加热元件采用含钼合金加热丝，加热速率快，耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快；智能PID30段控温，控温精度高；真空密封法兰，真空法兰和石英炉管的气密性额定可达4、03×10-3Pa。
双温区滑轨管式炉具有双个温区，每个温区可以立控制、可设置不同的温度使炉管内形成一个温度梯度场。该炉底安装一对滑轨，可用手动滑动（可选配电动滑动）。能快速加热、冷却，加热和冷却速率可达100°C/min。为取得快速加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S，是低成本快速热处理的热处理炉子。
双温区滑轨式CVD系统设备技术参数
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双温区滑轨炉SGM1200C-II 200D50 |
炉体结构 |
双温区滑轨管式炉采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃ · 炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。 |
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炉管尺寸 |
Φ50/60/80-100×1600mm(可提供特殊定制。) |
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功率 |
5kW |
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输入电压 |
220VAC单相50/60Hz |
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加热元件 |
Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） |
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额定温度 |
额定温度：1200℃ 额定温度：1100℃ |
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升温速率 |
≦10℃/min（推荐） |
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加热区长度度 |
· 两个加热区的长度都是200mm · 分别由立的温控系统控制 |
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恒温区长 |
· 100+100mm（&±1℃） · 可获得较长恒温区间 |
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控温精度 |
· &±1℃ |
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快速连接法兰 |
· Φ50快结式不锈钢真空法兰
· 打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便 |
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预热炉 |
功率 |
· 1kw |
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加热区 |
· 100mm |
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额定温度 |
· 1200℃ |
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工作温度 |
· 200-800℃（可根据实际工艺需求调整） |
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五路质子流量控制系统 MFC-5Z |
电压 |
220VAC单相 50/60Hz |
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针阀材质 |
316不锈钢 |
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量程 |
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择） |
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工作温度 |
5～45℃ |
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外型尺寸 |
600(L)x600(W)x700(H)mm |
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电压 |
AC220V/50Hz单相 |
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功率 |
23W |
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真空系统 LVU-10 |
壳体尺寸 |
· 600(L)x600(W)x700(H)mm |
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额定承载量 |
· 1000Lbs |
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抽气速率 |
· 10m³/h · 极限真空度：10-1Pa · 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 |
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质保期 |
一年质保期，(相关耗材除外，如炉管，密封圈加热元件等易耗件) |
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使用注意事项 |
· 炉管内气压不可高于0.02MPa · · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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