结构特点：

1、质量流量计、流量显示仪分体式连接，便于操作及使用；

2、控制精度高，响应快，极低的零漂及温漂，良好的兼容性；

3、系统配有混气罐，可单路或多路配合进气；

4、每条气体管路均配有安全截止阀，确保系统的安全可靠；

5、流量控制器的规格型号可根据要求定制；

6、采用世伟洛克卡套接头连接，保证良好的密封性；

7、整体式炉架结构，搭配性能强，可放置我司各种规格型号的管式炉等；

8、可通过软件支持人机交互界面，操作简单方便；

9、预留真空系统位置，可选不同真空系统，组合搭配方便快捷。

主要用途和适用范围：

用于高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验等精密气体的流量控制。

注意：严禁氢气和氧气同时供气，保证安全

技术参数：

常规型号

HQ-Z

炉体结构

双层炉架结构，预留真空系统，组合性强

控制方式

质量流量计配合流量显示仪

流量规格

0－500SCCM/0－1SLM（可根据客户需要配置）

线性

±0.2%F.S.

准确度

±1、5%F.S.

重复精度

±1、5%F.S.

响应时间

≤8sec

耐压

3MPa

气路通道

多通道（根据客户需求）

混气罐

SUS316不锈钢，尺寸：Φ100*200mm

阀 门

SUS316不锈钢卡套针阀

管　道

Φ6mm无缝钢管管

接　口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

设备：530*1200*850mm （深*宽*高）；净重 kg

标准配置

主机1台，说明书、合格证、保修卡各1份