四路质子气路系统 GMF-4Z （加鼓泡器）
四路质子气路系统 GMF-4Z (加鼓泡器)
主要特点:
1、该供气适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。
2、气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
3、所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
4、鼓泡器的主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器(bubbler)中，携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽，并将其输送至反应炉体，在高温下参与反应生成蕞终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。
5、该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD，催化反应和活化实验。
主要参数：
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配置组件 |
技术参数 |
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质量流量控制器 |
工作电压： |
185~245V 50HZ |
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额定输出功率： |
18W |
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流量计标准量程： |
100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） |
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工作温度： |
5~45℃ |
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工作压差： |
0.1~0.5MPa |
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额定压力： |
3MPa |
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准确度： |
±1、5% FS |
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机械压力表 |
测量范围： |
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
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针阀 |
316不锈钢 |
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混气罐 |
Φ80×120mm |
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截止阀 |
Φ6mm”316不锈钢针阀 |
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尺寸 |
600×600×650 mm |
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