供气系统 4路质子 GMF-4Z 触摸屏控制
供气系统 4路质子 GMF-4Z 触摸屏控制
该供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与SGM品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
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