供气系统 2路质子
供气系统 2路质子 GMF-2Z
该供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与SGM品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
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配置组件 |
技术参数 |
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质量流量控制器 |
工作电压： |
185~245V 50HZ |
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额定输出功率： |
18W |
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流量计标准量程： |
100sccm，200sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） |
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工作温度： |
5~45℃ |
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工作压差： |
0.1~0.5MPa |
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额定压力： |
3MPa |
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准确度： |
±1、5% FS |
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机械压力表 |
测量范围： |
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
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针阀 |
316不锈钢 |
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混气罐 |
Φ80×120mm |
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截止阀 |
Φ6mm”316不锈钢针阀 |
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尺寸 |
600×600×650 mm |
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