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主要特点
VT系列立式真空管式炉特炉管内设计了微妙的气氛喷射器可将实验所需气氛直接喷射在物料处,有助于反应更充分,样品平放在内管上可以实现内管和外管同时通气体,平放的样品有助于薄膜生长,电极测试,温度更均匀。该设备也具有可作为氧化物晶体生长,退火等功能。
技术参数
额定功率
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