额定温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序。

加热长度

200+200+200mm

恒温长度

400mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相，220V，50Hz

功率输出范围

0W~500W

额定反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V）频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂)

50sccm，100sccm、500sccm

（可根据用户要求定制）

准确度

±1、5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

额定压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃～40℃

工作电电压

380V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

60m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1、01325X105～1、33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1、1L

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连