射频电源150W/300W/500W
本产品属管式可定制PECVD零部件，可承接现有管式炉PECVD设备。
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信号频率 |
13、56 MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
0W~500W |
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额定反射功率 |
100W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
≤5W |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V）频率50/60HZ |
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整机效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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