低真空CVD石墨烯生长系统（型号：TF-1200℃-CVD）
主要特点
该设备是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
1、加热系统
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额定温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
≤1100℃ |
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石英管尺寸 |
Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm |
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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热电偶类型 |
K型热电偶 |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定。 |
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加热长度 |
440mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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加热原件 |
电阻丝 |
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供电电源 |
单相，220V，50Hz |
2、三路质子流量控制系统
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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标准量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm （可根据用户要求定制） |
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准确度 |
±1、5%F.S |
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线性 |
±1%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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额定压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
3、低真空机组
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作环境 |
5℃～40℃ |
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工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽气速率 |
10m³/h |
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极限真空 |
5X10-1Pa |
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工作压力范围 |
1、01325X105～1、33X10-2Pa |
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耐压值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1、1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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噪音 |
50dB |
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连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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