加热区参数

加热元件：电阻丝

加热区长度：200+200mm

恒温区长度：100+100
工作温度：1100℃
额定温度：1200℃
额定升降温速率：≤30℃/min

推荐升温速度：15度/分钟

炉管：高纯度石英管Φ25\50\60\80\100x1000mm(管径可选)

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。

控温精度：±1℃

炉门结构：开启式
工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率： 5KW

标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；

尺寸：外型尺寸：590×380×600mm

可选配单温区、三温区等加热区。

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm（量程可选）

准确度：±1、5%

线性：±0.5～1、5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

额定压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

低真空系统参数

国产油泵型号：BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度：5*10^-1pa

电源：220v 50hz

电机功率：0.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1、1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1、配用规管：ZJ-52T电阻规，

2、测量范围： 10⁵～10^-1Pa，

3、测量路数： 1路

4、控制范围： 5×10³～5×10 ^-1 Pa，

5、控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6、电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7、功耗： 20W

高真空系统参数

空气相对湿度：≤85%

工作电压：AC220V±10% 50/60HZ

功率：1KW

系统整体极限真空度：10^-5Pa

实验真空度：10^-3Pa

外形尺寸：850×600×650mm

机械泵:

抽气速率：10m³/h

容油量：1、1L

电机功率：400W

极限压强：6×10^-2Pa

分子泵:

抽气速率：100L/S

极限压强：6×10^-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。

分子泵控制器:

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ—63HZ

额定输出功率：≤150W

额定加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

复合真空计:

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动

电阻单元参数

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1、0×105Pa~1、0×10-1Pa

有效范围：2、5×103Pa~5、0×10-1Pa

控制范围：2、5×103Pa~5、0×10-1Pa

电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5、0Pa~1、0×10-5Pa

有效范围：1、0Pa~5、0×10-5Pa

控制范围：1、0Pa~5、0×10-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

其他参数

控制路数：4路

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1S

电源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%

连接管路:

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率于1、0×10-9Pa.m3/s

备注：

根据工艺要求可选配低真空或高真空系统。