加热区参数

炉管尺寸：Φ60/80×1000mm(管径可选) 加热元件：硅钼棒 加热区长度：300mm

恒温区长度：150mm

工作温度：1550℃

额定温度：1650℃

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度:±1℃

推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min

工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率：5、2 KW

外型尺寸：610×440×720 mm

标准配件：高纯刚玉管1支，氧化铝管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个;

密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)

端口可按实际使用扩展。

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确度：±1、5%

线性：±0.5～1、5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

额定压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

低真空系统参数

国产油泵型号：BSV-10

抽速：10m³/h

极限真空度：5*10^-1pa

电源：220v 50hz

电机功率：0.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1、1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1、配用规管：ZJ-52T电阻规，

2、测量范围： 10⁵～10^-1Pa，

3、测量路数： 1路

4、控制范围： 5×10³～5×10 ^-1 Pa，

5、控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6、电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7、功耗： 20W

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

高真空系统参数

空气相对湿度：≤85%

工作电压：AC220V±10% 50/60HZ

功率：1KW

系统整体极限真空度：10^-5Pa

实验真空度：10^-3Pa

外形尺寸：850×600×650mm

机械泵:

抽气速率：10m³/h

容油量：1、1L

电机功率：400W

极限压强：6×10^-2Pa

分子泵:

抽气速率：100L/S

极限压强：6×10^-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。

分子泵控制器:

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ—63HZ

额定输出功率：≤150W

额定加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

复合真空计:

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动

电阻单元参数

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1、0×105Pa~1、0×10^-1Pa

有效范围：2、5×103Pa~5、0×10^-1Pa

控制范围：2、5×103Pa~5、0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5、0Pa~1、0×10^-5Pa

有效范围：1、0Pa~5、0×10^-5Pa

控制范围：1、0Pa~5、0×10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

其他参数

控制路数：4路

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1S

电源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%

连接管路:

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率于1、0×10^-9Pa.m3/s

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

备注：