双管滑轨RTP快速升温炉（TF-1200℃-III-SL）

　　主要特点

　　可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区)，可预抽真空(有高真空、低真空)，通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵、阀采用设备，性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作等特点。在预热方式上设有自动升温预热程序。在程序下完全不需要操作人员监看、调整工作电流，可将工作人员从繁琐的操作中解放出来。

　　技术参数