自动RTP快速升温管式炉TF-1200℃-RTP-180

　　细节展示

　　主要特点

　　开启式RTP快速升温管式炉由我公司自主研发的功能强大的加热设备。该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，可以自由打开，安全可靠。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的蕞低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。采用双管设计，是石墨烯的制作的蕞好手段，炉体和炉管可以自由滑动，气体和温度及真空之间可以同步控制，可以同时实现自动化工艺，配上电脑可以对温度、真空和气体流量实现控制。由于可以实现系统化控制，对于操作和实验的重复性会非常有帮助。该设备是实验室必备的一款设备。

　　技术参数