磁力推拉式二维材料制备CVD设备
主要特点
成熟的双温区硫化炉，配有磁力拉杆和石英蒸发舟，配合蒸发舟处的内探热电偶，可实现在实验过程中将固态源(如硫粉、硒粉等)推进加热区的同时可检温度，准确把握硫族元素蒸汽送入的时机，避免过早导致钼源表面形成硫化外壳难以升华或者过迟导致衬底表面钼源硫化不足。
技术参数
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