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产品简介：本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。 PECVD高温真空炉加热炉体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，可用于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了加热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用质的产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。

额定温度 1200℃ 使用温度 ≤1100℃ 炉膛有效尺寸 Φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要定制。） 炉膛材料 氧化铝、高温纤维制品 热电偶类型 K型热电偶 控温精度 ±1℃ 控温方式 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7-10寸工控电脑，内置PLC控制程序。 加热长度 230mm/440mm 恒温长度 100mm/200mm 加热原件 电阻丝 供电电源 单相，220V，50Hz 2、PE射频电源 功率输出范围 0W~150/500W 额定反射功率 100W 射频输出接口 50 Ω, N-type, female 功率稳定度 ≤5W 谐波分量 ≤-50dbc 供电电压 单相交流（187V-253V）频率50/60HZ 整机效率 >=70% 功率因素 >=90% 冷却方式 强制风冷 3、三路质子流量控制系统 连接头类型 双卡套不锈钢接头 标准量程（N2) 50sccm，100sccm、500sccm （可根据用户要求定制） 准确度 ±1、5%F.S 线性 ±1%F.S 重复精度 ±0.2%F.S 响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围 0.1～0.5 MPa 额定压力 3MPa 接口 Φ6,1/4'' 显示 4位数字显示 工作环境温度 5~45高纯气体 压力真空表 －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀 Φ6 内外双抛不锈钢管 Φ6 4、低真空机组 空气相对湿度 ≤85% 工作环境 5℃～40℃ 工作电电压 220V±10% 50~60HZ 功率 1KW 抽气速率 10m³/h 极限真空 5X10-1Pa 工作压力范围 1、01325X105～1、33X10-2Pa 耐压值 0.03MPa 容油量 1、1L 进气口口径 KF25 排气口口径 KF25 噪音 50dB 连接方式 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

生产厂家哪家好？PECVD-500A/PECVD-S-150A 等离子辉光滑轨PECVD系统-洛阳高温电阻炉厂家为专业的生产厂家，具有多年的研发与生产经验、质量稳定可靠 TAG: