CVD气相沉积

○ 产品介绍

本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验

○ 技术参数

1、真空管式炉

工作电压：AC220/AC110V

工作频率：50Hz/60hz

工作温度：25℃～1100℃

测量精度：0.1℃

控温精度：±1℃

加热速率：建议10℃/min

控温模式：可编程智能PID

曲线段数：30段

预存曲线：100条

炉膛长度：440mm

恒温区长：200mm

数据接口：USB

2、混气系统

测量设备：质量流量控制器

测量量程：500SCCM

气体通道：两通道

连接管道：304不锈钢管

接口模式：6、35卡套接头

气体缓冲：不锈钢缓冲

○ 免责声明

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