1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统
http://y2、yzimgs.com/uploads/533616/2019513-14474784.jpgSGM-O1200-50IT-3Z-HV1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统由单温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵组构成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制路管内的气氛环境。同时1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率，1200℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。本系统还配有精密分子泵组，可以达到1、0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
应用范围：高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验
| 名称 |
1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统 |
| 型号 |
SGM-O1200-50IT-3Z-HV |
| 参数 |
1、供电电源：AC:220V 50/60Hz 2、炉管 材质：高纯石英;尺寸：直径50mm（可选配60mm、80mm、100mm）、长度800mm（炉膛长度：440mm） 3、加热区:长400mm;恒温区:长200mm 4、工作温度:0～1100℃;控温精度:±1℃; 5、控温模式:30段或50段程序控温 6、显示模式:LCD
7、密封方式 :304不锈钢真空法兰 8、可抽真空：4、4E-3Pa
9、供气系统：SGM-3Z3通道气体通道
10、排气系统：常规型号SGM-GZK103-A |
;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
前极泵：旋片泵; 
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