1200℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统
http://y3、yzimgs.com/uploads/533616/2019513-101119472.jpgSGM-O1200-50IT-3F-HV1200单温区3路浮子供气高真空CVD系统该设备由单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制炉管内的气氛环境。同时管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。1200单温区3路浮子供气高真空CVD系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。本系统还配有精密分子泵组，可以达到10E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
应用范围：高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
| 名称 |
1200单温区3路浮子供气高真空CVD系统 |
| 型号 |
SGM-O1200-50IT-3F-HV |
| 参数 |
1、供电电源：AC:220V 50/60Hz 2、炉管 材质：高纯石英;尺寸：直径50mm（可选配60mm、80mm、100mm）、长度800mm（炉膛长度：440mm） 3、加热区:长400mm;恒温区:长200mm 4、工作温度:0～1100℃;控温精度:±1℃; 5、控温模式:30段或50段程序控温 6、显示模式:LCD
7、密封方式 :304不锈钢真空法兰 8、可抽真空：4、4E-3Pa
9、供气系统：SGM-3F3通道气体通道
10、排气系统：常规型号SGM-GZK103-A |
;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
前极泵：旋片泵; 
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