1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统-洛阳高温电阻炉厂家

1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统

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SGM-O1200-50IT-3F-LV1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温,可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制炉管内的气氛环境。同时管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统所配有的三路浮子流量计,可以混合1~3路气体,准确的配制出实验所需的混合气体;另有压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。


应用范围:高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。


名称 1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统
型号 SGM-O1200-50IT-3F-LV
参数

    1、供电电源:AC:220V 50/60Hz

    2、炉管 材质:高纯石英;尺寸:直径50mm(可选配60mm、80mm、100mm)、长度800mm(炉膛长度:440mm)

    3、加热区:长400mm;恒温区:长200mm

    4、工作温度:0~1100℃;控温精度:±1℃;

    5、控温模式:30段或50段程序控温

    6、显示模式:LCD

    7、密封方式 :304不锈钢真空法兰;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

    8、可抽真空:4、4E-3Pa

    9、供气系统:SGM-3F3通道气体通道
    测量部件:气体浮子流量计
    测量量程:A通道:0~100ml/min H2气
    B通道:16~160ml/min N2气
    C通道:25~250ml/min Ar气
    备注:如需其它量程或气体种类,定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
    测量精度:±1、0%F.S
    管道耐压:3MPa
    工作压差:50~300KPa
    连接管道:304不锈钢
    控制阀门:304不锈钢针阀
    接口规格:进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
    供电电源:AC:220V 50/60Hz


    10、排气系统:常规型号SGM-GZK103-A
    旋片泵
    抽气速率:旋片泵:1、1L/S
    排气抽气接口:KF16
    真空测量复合真空计:电阻规
    极限真空:1、0E-1Pa
    供电电源:AC220V 50/60Hz



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