卷对卷式PECVD

1200℃双温区管式炉

供电电压

AC220V，50Hz

额定功率

3KW

加热温区

双温区 200mm+200mm

工作温度

≤1200℃

控温精度

±1℃

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ80mm I.D x1400mm L

密封方式

不锈钢真空法兰

真空测量

电阻规

工作气体

氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体

真空泵

双极旋片式真空泵

极限真空度

10^-1Pa

三路质量流量计

阀门类型

不锈钢针阀

气路数量

三路

承压范围

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM（Ar）

1~200 SCCM（H₂）

1~500 SCCM (CH₄)

流量控制范围

±1、5%

混气罐容积

750mL

气路材料

304不锈钢

管道接口

6、35mm卡套接头

供电电源

AC220V 50Hz

S射频电源

输出功率

500W

输出精度

±1%

射频频率

13、56MHz

射频稳定度

±0.005%

冷却方式

风冷