​单温区旋转PECVD石墨烯制备

射频电源

输出功率

150W

输出精度

±1%

射频频率

13、56MHz

射频稳定度

±0.005%

冷却方式

风冷

1200℃双温区管式炉

供电电压

AC220V，50Hz

额定功率

2KW

加热温区

单个温区200mm

工作温度

额定1200℃，连续运行温度应≤1100℃

控温精度

±1℃

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条

三温区立控制，带有过热和断偶保护

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ50x800mm

密封方式

真空不锈钢法兰、KF16法兰

可调转速

0-20rpm

倾斜角度

0-15°

真空泵

旋片机械泵

极限真空度

1、0E-1Pa

进料方式

真空漏斗加螺杆进料