1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统

名称 1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统
型号 SGM-O1200-50IT-3Z-LV
参数

1、供电电源：AC:220V 50/60Hz


2、炉管 材质：高纯石英;尺寸：直径50mm（可选配60mm、80mm、100mm）、长度800mm（炉膛长度：440mm）

3、加热区:长400mm;恒温区:长200mm

4、工作温度:0～1100℃;控温精度:±1℃;

5、控温模式:30段或50段程序控温

6、显示模式:LCD

7、密封方式 :304不锈钢真空法兰;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

8、可抽真空：4、4E-3Pa

9、供气系统：SGM-3Z3通道气体通道
测量部件：气体质量流量计
测量量程：A通道：0～100SCCM H2气
B通道：0～300SCCM N2气
C通道：0～500SCCM Ar气
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
测量精度：±1、0%F.S
管道耐压：3MPa
工作压差：50～300KPa
连接管道：304不锈钢
控制阀门：304不锈钢针阀
接口规格：进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源：AC:220V 50/60Hz





10、排气系统：旋片泵
抽气速率：旋片泵：1、1L/S
抽气/排气接口:KF16
真空测量复合真空计：电阻规
极限真空:1、0E-1Pa
供电电源：AC220V 50/60Hz

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