功能
两路质量流量计
质子流量控制器
工作温度:5~45ºC
较大压力:3x106Pa
精度:±1、5%FS
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路:0~100SCCM
二路:1~199SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
输入电源
AC220V/50Hz单相
功率
150W
机械压力表
有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接
量程:-0.1~0.15MPa(0.01MPa/grid)
针阀
316不锈钢
通气管道
内部连接管道为1/4”不锈钢管
外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐
Φ80X120mm
截止阀及配件
316不锈钢针阀
Φ1/4”不锈钢管
外形尺寸
600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)
质量认证
CE认证
质保期
一年质保期,终身维护
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