质量流量计TN-S48
产品名称
SGM-S48气体质量流量计
流量范围
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
调节阀类型
电磁调节阀
调节阀静止状态
常闭
安装角度
任意
流量控制范围
2%～100%
流量测量范围
0～100%
响应时间
2s（T98，设定值的±2% F.S.）
工作环境温度
5℃～50℃
精度保证温度
15℃～35℃
精度
±1、0%F.S.
线性精度
±0.5%F.S.
重复性
±0.2%F.S.
工作压差
～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
耐压
3MPa
泄漏率
1×10-8 Pa•m3/s （He）
接触气体材料
316L,PTFE,Viton氟橡胶
管路接头
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
供电电源
±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA
+24VDC(宽电压+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供电时)
设定信号
(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
流量输出信号
(0～5)VDC 负载能力≤3mA
电气接头
D-SUB15,D-SUB9
重量(kg)
0.9
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