高真空手动挡板阀
○ 适用范围
一般采用手动真空挡板阀与真空系统相连接，主要起到真空泵防回油和CVD系统中控制抽气速率等作用。
○ 技术参数
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型号 |
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1*10E-6Pa～1、2*10E-6Pa（波纹管密封） |
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≤1、3*10E-7 |
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1000000（波纹管密封） |
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600000（氟胶圈密封） |
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≤120℃ |
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手操时间 |
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机械指示 |
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任意 |
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5~40 |
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不用时，请保持真空挡板阀清洁，并放在干燥室内防止强烈震动 安装前请将阀门和真空接触的各个表面进行清洁处理 定期检查，防止受潮、生锈和橡胶件老化 |
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