等离子体测试设备

名称

等离子测试设备

特点

a.触控屏控制

b.石英管两侧的法兰配有观察窗

c.水冷电感线圈,外壳另有散热风扇

d.电感耦合的等离子发生器

参数

1、供电电压 AC220V，50Hz

2、额定功率 1KW

3、耦合方式 电感耦合

4、石英腔体 O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3、5mm

5、观察窗尺寸 φ30mm

6、真空接口 KF16

7、进气口接口 6、35mm 卡套接头

8、质量流量计 Ar标定 量程100sccm

9、真空泵 双极旋片真空泵

10.极限真空度 0.1Pa

11、冷却方式 水冷铜管+风冷壳体

12、射频电源 额定输出功率300W自动匹配

13、频率 13、56MHz
规格

整机尺寸 560mm X 620mm X 620mm