1200℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统

名称 1200单温区3路浮子供气高真空CVD系统
型号 SGM-O1200-50IT-3F-HV
参数

1、供电电源：AC:220V 50/60Hz


2、炉管 材质：高纯石英;尺寸：直径50mm（可选配60mm、80mm、100mm）、长度800mm（炉膛长度：440mm）

3、加热区:长400mm;恒温区:长200mm

4、工作温度:0～1100℃;控温精度:±1℃;

5、控温模式:30段或50段程序控温

6、显示模式:LCD

7、密封方式 :304不锈钢真空法兰;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

8、可抽真空：4、4E-3Pa

9、供气系统：SGM-3F3通道气体通道
测量部件：气体浮子流量计
测量量程：A通道：0～100ml/min H2气
B通道：16～160ml/min N2气
C通道：25～250ml/min Ar气
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
测量精度：±1、0%F.S
管道耐压：3MPa
工作压差：50～300KPa
连接管道：304不锈钢
控制阀门：304不锈钢针阀
接口规格：进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源：AC:220V 50/60Hz





10、排气系统：常规型号SGM-GZK103-A
分子泵 SGM-600 前极泵：旋片泵;
抽气速率分子泵：600L/S 旋片泵：1、1L/S（ 综合抽气性能：30分钟真空度可达：1、0E-3Pa）
抽气接口:KF40; 排气接口:KF16
真空测量复合真空计：电阻规+电离规
极限真空:1、0E-5Pa
供电电源：AC220V 50/60Hz

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