等离子增强型CVD系统-洛阳高温电阻炉厂家

等离子增强型CVD系统

结构特点

•150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度

•3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精准的调控

工作电源

•AC208-220V,50/60Hz

•总功率:4KW

单温区管式炉

•较高温度:1100ºC(< 2h)连续工作温度:1000℃

•PID温度控制器以及30段可编程温控系统

•输入功率:220V,单相,功率:1、5KW

•加热区长度:200mm,恒温区:100mm

•炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管

等离子射频电源

•输出功率:0-150W可调(稳定性:±1%)

•射频频率:13、56MHz(稳定性:±0.005%)

•较大反射功率:150W

•匹配:自动匹配

•射频输出端口:50Ω、N型

•噪音:<50dB

•冷却:空气冷却

•电源: 220VAC, 50/60Hz

石英管

•高纯石英管

•尺寸:φ50mm*1200mm L

密封法兰

•一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头)

真空泵(该部分为选配,单计费)

•双级真空泵

•KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

3通道质子流量计控制系统(该部分为选配,单计费)

•4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精准控制(精准度:±0.02%)

•流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 0~200 SCCM

三路: 1~200 SCCM

•电压:220V AC 50/60Hz

•气体进出口配件:直径6、35mm不锈钢管

•不锈钢针阀用于手动控制气体进出

尺寸和重量

•1400mm L x600mm W x1240mm H

•净重:90kg

质保期

•一年质保期,终生维护(石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外)

质量认证

•CE认证

使用注意事项

•炉管内气压不可高于0.02MPa

•由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀

•当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

•进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

•石英管的长时间使用温度<1100℃

•对于样品加热的实验,使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生。


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