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单温区旋转PECVD石墨烯制备

安装有真空自动投料器，炉管尾部预留KF40接口可以连接收料罐。投料器采用螺杆进料，可以以额定的速率将粉料送入炉管，投料速率可通过调节转速来更改。可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用PECVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。

设备配有100W频率13、56MHz的视频电源。能够在真空中产生等离子体。高能等离子体能够活化样品表面，有效的增强反应效果，提高反应速率，这种辅助方法广泛用于石墨烯制备，颗粒包覆等科学实验上。

本设备特别适合颗粒型样品实验，通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转，转速可调，使得管内物料不断的被搅拌混合，充分与气体和等离子体接触，使样品的反应更加均匀稳定。

技术参数：

射频电源	输出功率	150W
	输出精度	±1%
	射频频率	13、56MHz
	射频稳定度	±0.005%
	冷却方式	风冷
1200℃双温区管式炉	供电电压	AC220V，50Hz
	额定功率	2KW
	加热温区	单个温区200mm
	工作温度	额定1200℃，连续运行温度应≤1100℃
	控温精度	±1℃
	控温方式	AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区立控制，带有过热和断偶保护
	炉管材质	高纯石英
	炉管尺寸	φ50x800mm
	密封方式	真空不锈钢法兰、KF16法兰
	可调转速	0-20rpm
	倾斜角度	0-15°
	真空泵	旋片机械泵
	极限真空度	1、0E-1Pa
	进料方式	真空漏斗加螺杆进料

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