等离子体测试设备
等离子测试设备主要部件为一个电感耦合的等离子发生器，发生器能够在电感线圈内部的石英管内产生等离子体，石英管两侧的法兰配有观察窗，用户可以在观察窗上观察实验现象或者用其他仪器测量相关参数。设备采用触控屏控制，屏幕集成所有实验功能，如抽放真空、流量控制、射频电源调节等。同时电感线圈采用水冷设计，外壳另有散热风扇，保证了整套设备长时间工作的稳定性。该设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的必备仪器。|
名称 |
等离子测试设备 |
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特点 |
a.触控屏控制 b.石英管两侧的法兰配有观察窗 c.水冷电感线圈,外壳另有散热风扇 d.电感耦合的等离子发生器 |
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参数 |
1、供电电压 AC220V，50Hz 2、额定功率 1KW 3、耦合方式 电感耦合 4、石英腔体 O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3、5mm 5、观察窗尺寸 φ30mm 6、真空接口 KF16 7、进气口接口 6、35mm 卡套接头 8、质量流量计 Ar标定 量程100sccm 9、真空泵 双极旋片真空泵 10.极限真空度 0.1Pa11、冷却方式 水冷铜管+风冷壳体 12、射频电源 额定输出功率300W自动匹配 13、频率 13、56MHz |
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规格 |
整机尺寸 560mm X 620mm X 620mm |
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