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FGL（RTP）滑轨式管式炉(T max 1100℃)

滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

1、 工作温度RT～1000℃。

2、 智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。

3、 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热。

4、 炉壳结构，双层炉壳风冷结构。

5、 不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。

6、 两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命。

7、 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。

8、 安全保护当炉体漏电时自动断电。

额外选配 炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

注：选件需配置拓展柜体；

技术参数

设备常规型号	高温度	管径	加热区	温区数	热电偶	电压	功率
FGL(RTP)-40-11-1	1100℃	40mm	320 mm	1个	K型	220V	3、0KW
FGL(RTP)-50-11-1	1100℃	50mm	320 mm	1个	K型	220V
FGL(RTP)-60-11-1	1100℃	60mm	320 mm	1个	K型	220V
FGL(RTP)-80-11-1	1100℃	80mm	320 mm	1个	K型	220V

注：给出的 高温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。

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