常规型号

3Z

流量计类型

质子流量计

流量计管芯

304不锈钢

调节阀类型

电磁调节阀

管道常态

常闭

流量计外壳

黑色铝壳

气体种类

3种

接口尺寸

1/4"

测量精度

±1、0%F.S

线性度

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

压力范围

-0.1-0.15MPa

A路气体测量范围

0～100SCCM

B路气体测量范围

0～200SCCM

C路气体测量范围

0～500SCCM

流量控制范围

2%～100%

零点温漂

0.6F.S(15～35℃)

响应时间

2S

工作环境温度

(15～50℃)

精度保证温度

(15～35℃)

供电电源

220V50Hz

外形尺寸

L700×W600×H580

设备重量

43kg