RTP多功能快速退火炉

快速热处理退火炉简称RTP（RapidThermalProcessingFurnace），由我公司借鉴了国际先进制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹，以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温！

此款设备采用了西格马SGM自主研发的智能AIO（AllInOne）控制系统，实现了炉膛自动左右移动，炉膛在左侧加热到设定温度后，直接移动到右侧样品区域，实现样品快速升温，样品加热到设定温度和时间后，炉膛自动移开样品加热区，实现样品的快速降温。西格马SGMAIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制，而且还能自动平衡炉管内的压力大小，真正实现了操作方便，而且安全可靠。

功能举例：样品加热到1000℃后，炉膛自动移开加热区，冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温，样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热，如此往复，往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。

应用领域

Ø快速热退火(RTA);离子注入后退火

Ø石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长

Ø快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);

Ø硅化(Silicidation);

Ø扩散(Diffusion);

Ø离子注入后退火(ImplantAnnealing);

Ø电极合金化(ContactAlloying);

Ø晶向化和坚化(CrystallizationandDensification);

主要特点

Ø极速升温100℃/S，极速降温100℃/S；

Ø双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；

Ø直接测量样品表面温度，测温更精准；

Ø炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用；

Ø样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格；