90kg多晶硅铸锭提纯炉
90kg多晶硅铸锭提纯炉90kg多晶硅铸锭提纯炉
型号：ZG-90
详细描述：
设备特点
本设备为立式结构，具有高真空、充气及高温熔化定向凝固等功能，是多晶硅原料熔化及成锭的选设备，在添加等到离子加热源后可满足部分提纯要求。设备具有自动控温、快速升温冷却、快速升降取锭、超压保护等功能，同时设有操作平台方便操作及维护。
技术参数
型号 | 名称 | 额定功率 | 额定温度 | 坩埚容量 | 定向凝固速度 | 冷态极限真空度 |
ZG-90D | 多晶硅定向凝固炉 | 160KW | 1600℃ | 90KG | 5-25mm/小时 | 6、67×10-2Pa |
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