1200度单温区滑竿式PECVD系统
详细技术参数
|
SGM1200-S 管式炉 |
型号 |
SGM1200-S-H-PECVD-I |
SGM1200-S-H-PECVD-II |
|
|
功率 |
1、5KW |
1、5KW |
||
|
炉管尺寸 |
Dia25(OD)X1100mm |
Dia50(OD)X1100mm |
||
|
外形尺寸（LXDXH） |
1800X410X610 |
1800X460X660 |
||
|
电源电压 |
220V |
|||
|
相数 |
单相 |
|||
|
加热元件 |
瑞典Canthal A1电阻丝 点击进入资料下载 |
|||
|
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （岛电） |
|||
|
控温模式 |
智能PID |
|||
|
断偶保护和显示 |
有 |
|||
|
过温保护 |
有 |
|||
|
过流保护 |
有 |
|||
|
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
|||
|
触发器 |
移相触发 |
|||
|
电器 |
浙江正泰 |
|||
|
可控硅 |
106-16E 德国西门康 |
|||
|
额定温度 |
1200 ℃ |
|||
|
额定温度 |
1100 ℃ |
|||
|
升温速率 |
≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） |
|||
|
推荐升温速率 |
≤10℃/ Min |
|||
|
热电偶型号 |
K 型 |
|||
|
加热段长度 |
205mm |
|||
|
电器认证 |
|
|||
|
四周表面温度 |
≤45℃ |
|||
|
射频电源 （等离子体发生器）
|
功率输出范围 |
0-500W |
||
|
额定反射功率 |
200W |
|||
|
信号频率 |
射频：13、56MHZ&±0.005% |
|||
|
功率稳定度 |
+/-0.1% | |||
|
谐波分量 |
≤-50dbc |
|||
|
射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
|||
|
匹配方式 |
自动 |
|||
|
冷却方式 |
分冷 |
|||
|
噪声 |
<50dB |
|||
|
射频接口 |
50ΩN-type |
|||
|
输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
|||
|
GX供气系统主要参数
|
质量流量计
|
量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
|
|
耐压 |
3MP |
|||
|
流量控制精度 |
&±1、0%F.S |
|||
|
额定工作（使用）压力 |
0.3MPa |
|||
|
线性 |
&±0.5%F.S. |
|||
|
重复精度 |
&±0.2% F.S |
|||
|
路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
|||
|
接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
|||
|
系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
|||
|
工作温度 |
5-45℃ |
|||
|
压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
|||
|
静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
|||
|
接口 |
Dia6 / 1/4” |
|||
|
VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个 |
电源 |
220V |
||
|
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
|||
|
波纹管 |
KF25X1000mm |
|||
|
用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
|||
|
真空挡板阀 |
KF25 |
|||
|
VRD-8真空泵 方案一 |
型号 |
VRD-8 |
||
|
极限分压强 |
5X10-2Pa |
|||
|
进排气接口 |
KF25 |
|||
|
电机转速 |
1440RPM |
|||
|
抽气速率 |
2、2L/S |
|||
|
电机功率 |
0.4KW |
|||
|
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 方案二 |
型号 | ACP15 | ||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 额定氦气漏率 | 5 · 10-8Pa m3/s | |||
| 抽气速率 | 14 m3/h | |||
| 极限压强 | 0.02Torr | |||
| 进、排气接口 | KF25 | |||
|
电阻真空计 （方案一） |
型号 |
ZDR-1 |
||
|
功率 |
25W |
|||
|
真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
|||
|
电阻硅 |
ZJ-52T |
|||
|
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空 （方案二）
|
型号 |
PCG554 |
||
|
输入电压 |
24V1A DC（配有220V变压器） |
|||
|
真空计接口 |
KF16 |
|||
|
数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
|||
|
产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm(LxWxH) |
|||
|
重量 |
5lbs |
|||
|
检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精度、重复性好。 |
|||
|
是否防腐 |
防腐 |
|||
|
响应时间 |
≤30ms |
|||
|
测量范围 |
3、8x10-5-1125Torr. |
|||
|
分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个） |
机组输入电压 |
380V /220V |
||
|
波纹管 |
KF40X1000 |
|||
|
真空挡板阀 |
KF40 |
|||
|
机箱尺寸 |
600X600X600 |
|||
|
分子泵 （方案一） |
分子泵型号 |
FJ620 |
||
|
输入电压 |
380V |
|||
|
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
|||
|
分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
|||
|
分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
|||
|
冷却方式 |
水冷 |
|||
|
冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
|||
|
冷却水温度 |
<25℃ |
|||
|
环境温度 |
0~40℃ |
|||
|
建议启东压强 |
<100pa |
|||
|
分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二）
|
功率 |
0.75KW |
||
|
电压 |
380V |
|||
|
转速 |
1450rpm |
|||
|
进气口径 |
KF25/KF40 |
|||
|
前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
|||
|
极限压强 |
4X10-2Pa |
|||
|
德国Pfeiffer真空泵 （方案二） |
电压 |
220V |
||
|
功率 |
110W |
|||
|
抽气接口 |
KF40 |
|||
|
重量 |
150KG |
|||
|
前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
|||
|
抽气速率（N2） |
33L/S |
|||
|
复合真空计
|
复合真空计型号 |
ZDF |
||
|
电源 |
220V 55W |
|||
|
控制精度 |
&± 1% |
|||
|
真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
|||
SGM1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统，由SGM1200-S-Mini型滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx,SiNx,SiOxNy和无定型硅(a-Si:H)等。
这款SGM1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统，是在PECVD系统上安装一对滑轨，可用手动滑动系统（可按需求设计成电动）。加热和冷却速率额定可达100°C/min。为取得蕞快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得蕞快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。
这款SGM1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用质氧化铝多晶纤维材料，炉管两端采用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3Pa，该系统使用方便，操作简单，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的不错产品.。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
.jpg)
大部分厂家使用的钢生产的Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 加热量均衡
有时候电阻不均衡、一部分加热量大一部分加热量小 温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的电器）
6、认证
.jpg)
7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
SGM1200单温区滑动式PECVD系统标配
|
描叙 |
数量 |
图片 |
|
SGM1200-1200滑动式管式炉 |
1 套 |
|
|
石英管 |
1根 |
|
|
不锈钢法兰 |
1 套 |
|
|
不锈钢炉钩 |
1 个 |
|
|
氧化铝炉塞 |
3个 |
|
|
高温手套 |
1 双 |
|
|
氧化铝坩埚 |
1 个 |
|
| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
|
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
|
|
说明书 |
1本 |
|
|
法兰支撑架 |
1 份 |
|
|
供气系统 |
1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 射频电源 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2个 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
推荐内容
NEWS
