SSGM-50晶体生长炉

1、与同类相比属于小型晶体生长炉，适合于大专院校、研究所使用。

2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。

1、电源：三相380V 25KW

2、感应射频：功率25KW，射频0.2-20KHz

3、真空腔体：Φ500mm×700mm

4、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（扩散泵泵）

5、提拉行程：≤500mm

6、提拉速度：0.1-20mm/h

7、籽晶杆旋转速度：0-40rpm

8、可熔融温度：≤2100℃

9、控温精度：<±0.2℃

10、冷却水：所需水压0.13-0.18MPa，所需流量60L/min

11、移动速度：1mm/h-10mm/h可调

12、快速移动：手动

13、结晶转速：1-50rpm

14、真空系统：机械泵和扩散泵

15、极限真空度：10^-5torr

1、炉体：880mm×1250mm×2850mm

2、控制柜：680mm×540mm×1700mm

3、中频柜：1100mm×500mm×1500mm

4、总重：1500kg