电炉型号

1700℃单温区三通道混气CVD系统SGM 1700℃-F3LV

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，有效减少能量损失。

3、内炉膛表面涂有美国氧化铝涂层，可以提高加热效率和延长使用寿命。

4、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序，并设有过热和断偶保护功能。

5、CE认证。

技术参数

管式炉

1、电源：单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 5KW

2、炉管：99、8%高纯氧化铝陶瓷管，外径Ø80mm，内径Ø72mm，长1000mm

3、加热元件：1800℃级硅钼棒8根

4、加热区域：457mm

5、恒温区域：150mm

6、工作温度：≤1700℃

7、升降温速率：≤5℃/min

8、控温精度：±1℃

9、真空度：5×10^-2torr

10、泄漏率：≤6mtorr/min

真空系统

1、真空泵：双旋片机械泵

2、可达真空度：5×10^-2torr

3、法兰：不锈钢密封法兰

4、针阀：2个不锈钢针阀

5、真空泵接口：KF-25

6、软管接头：1/4″

7、真空显示计：LED数字式真空显示计，测量范围0.1mtorr-850torr

浮子流量混气系统

1、浮子流量计：3个，精准度4%FS

2、流量计范围：10cc/min-100cc/min，16cc/min-160cc/min，25cc/min-250cc/min

3、压力表：1个，监测混合气体压力

电炉规格

尺寸：管式炉550mm×500mm×700mm，混气系统600mm×600mm×700mm，

真空机组600mm×600mm×700mm

重量：210kg

可选配件

防腐型数字式真空显示计