滑式真空炉CVD系统

• 炉体结构：双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；真空吸附成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好
• 电源电压：AC220V 50/60Hz；
• 功率：4KW
• 炉管材质：高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小
• 炉管尺寸：Φ40/60/80-100*1200mm
• 加热系统：加热元件采用质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用
• 加热区长度：440mm(可定制)
• 恒温区长度：200mm(可定制)
• 工作温度：≤1150℃(可定制)
• 额定温度：1200℃(可定制)
• 升温速率：10℃/min
• 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序
• 测温元件：N型热电偶
• 恒温精度：&±1℃
• 混气系统：三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制
• 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀
• 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套
• 每路气体进气管路配有不锈钢针阀
• 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
• 流量规格：0~1SLM
• 流量精度：&±1、5%
• 极限真空：6、0×10-5Pa
• 工作真空：7、6×10-4Pa
• 标准配件：数显式真空压力表；可选高真空系统及真空计，压力控制系统等
• 可选配件：混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。