混合气体化学气相沉积CVD系统

• 机器电源：AC220V，50/60Hz；
• 额定功率4kw
• 炉管：高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热的温度变化；
• 炉管尺寸：Φ80*-1000mm
• 加热元件：0Cr27Al7Mo2
• 加热区长度：400mm(可定制)
• 恒温区长度：200mm(可定制)
• 工作温度：≤1150℃
• 升温速率：≤10℃/min
• 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能、30段升降温程序
• 测温元件：N型热电偶
• 恒温精度：&±1℃
• 保护及提醒：超温、断偶故障警报及断电保护、高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置软件实时人机交互界面
• 混气系统：四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体、内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀、每路气体进气管路配有不锈钢针阀
• 流量规格：0~30SLM
• 控制精度：&±1、0％F.S
• 极限真空：6、0×10-5Pa
• 工作真空：7、6×10-4Pa
• 冷凝系统：采用低温恒温槽，蕞低温度可达-20℃、内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便、槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验