CVD浮子混气系统

功能特点：
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，额定真空可达0.0001Pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
4、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
5、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
产品用途：
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数

• 电压：AC220V 50/60Hz
• 功率：6KW
• 炉管：采用99氧化铝刚玉管，致密度高，经久耐用，不易断裂
• 炉管尺寸：Φ40/60/80*-1000mm(可定制)
• 炉管配件：4个氧化铝管堵
• 加热元件：6根U型硅钼棒
• 加热区长度：400mm(可定制)
• 恒温区长度：200mm(可定制)
• 工作温度：≤1600℃
• 额定温度：1650℃
• 升温速率：≤10℃/min
• 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能、50段升降温程序
• 测温元件：B型双铂铑热电偶
• 恒温精度：&±1℃
• 流量规格：0.3~3L/min
• 控制精度：&±5%
• 极限真空：6、0×10-5Pa
• 工作真空：7、6×10-4Pa
• 测温元件：B型双铂铑热电偶
• 尺寸：高温炉：660*580*910mm、混气移动工作台：800*540*720mm
• 可选配件：HQZ混气系统,中、高真空系统，各种刚玉坩埚，刚玉管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪，冷却水循环机等。