质量流量计混气系统\多路混气系统

质量流量计混气系统厂家那家好？质量流量计混气系统有2炉混气系统、三路混气系统、四路混气系统、六路混气系统。客户可以根据自己的要求任意选择气体。

质量流量计混气系统是一款可以控制多种气体按不同流量进行混合配比的供气系统，气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质量流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质量流量计显示板安装在同一面板上，每一条气体管路均有一个高压截止阀。各通道气体流量设定和状态显示都集中在PLC触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

质量流量计混气系统介绍：

SGMPD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜设计可以承重200KG，可与大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示在数显屏幕上，此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

质量流量计混气系统参数：

1、气路通道有：常规有2路/3路/4路，其他可根据用户要求定做

2、气路流量控制：质子流量控制器

3、接 口： Φ6

4、显 示： LED

5、工作环境温度: 5~45℃

6、流量控制器： 质子流量控制器（详细技术参数请查看后面）

7、四氟管：Φ6外XΦ4内

8、压力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

9、截 止 阀：Φ6

质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。

质量流量计混气系统指标：

1、准确度：&±1.5% F.S

2、线性：&±0.5～1.5% F.S

3、重复精度：&±0.2% F.S

4、响应时间：10S

5、气压降：<0.01MPa

6、设计压力：3MP

7、工作环境温度：5～45℃

8、输入输出信号：0～+5.00V

9、电源：+15V 50mA -15V 50mA

10、用户可选量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（其他量程用户可选配）