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电炉名称

SGM TF1200ZC管式炉CVD系统

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电炉型号

SGM TF1200ZC-503工作室尺寸：直径50x300mm

SGM TF1200ZC-603工作室尺寸：直径60x300mm

SGM TF1200ZC-803工作室尺寸：直径80x300mm

3

显示模式

触摸屏显示

4

炉膛模式

开启式

5

上限温度

1200℃

6

工作温度

≤1100℃

7

加热温区

单温区

8

温区长度

200mm

9

恒温区长

100mm

10

炉管材质

石英管

11

密封方式

不锈钢真空法兰

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控温方式

智能化30段可编程控制，自动控温

13

控温精度

&±1℃

14

加热速率

≤20℃

15

加热元件

合金加热丝

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热电偶

K型热电偶

17

炉膛材料

氧化铝陶瓷纤维

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功率

2.5Kw

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气体通道

可连接3种气源

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电源

220v 50Hz～60Hz

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系统真空

-0.1MPa

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