1700度三温区三路气体CVD系统设备

SGM TF1700S三温区三路气体CVD系统为兰西格马高温电炉生产的三温区CVD系统、配置三路气体混气系统。

SGM TF1700S三温区三路气体CVD系统有1700度三温区管式炉与三路混气系统、真空系统组成。

1700度三温区管式气氛炉采用硅钼棒为加热元件，炉膛材质为氧化铝多晶纤维材料。

1700度三温区管式气氛炉具有三个温区，三个温区分别用三个立的温控系统控制，每个温区都可以设置多段升降温程序，移相触发、可控硅控制。

1700度三温区管式气氛炉可通过调节三个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度，炉管两端装有不锈钢法兰，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,此系列真空气氛管式炉可以用CVD或PVD方法来生长纳米材料和制作各种薄膜。

1700度三温区管式气氛炉可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体。1700度三温区管式气氛炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的高温烧结设备。

三温区管式炉主要用途：

陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

SGM TF1700S三温区三路气体CVD系统

三温区管式炉主要功能和特点：

西格马三温区管式炉的控制系统具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空等。

三温区管式炉技术参数：