1200℃小型单温区大口径开启式管式炉-OTF-1200℃-5S
1200℃小型单温区大口径开启式管式炉-OTF-1200℃-5S 的详细介绍
SGM OTF-1200℃-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其额定温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉*多可对4英寸的晶片进行退火。
电炉名称 |
SGM 1200℃小型单温区大口径开启式管式炉OTF-1200℃-5S Small single temperature zone large diameter open tubular furnace |
主要参数 |
·额定温度:1200℃(<0.5小时) ·连续工作温度:1150℃ ·建议加热速率:≦10℃/min ·功率:3KW ·电压:AC 220V 50Hz |
炉体结构 |
·双层壳体结构 |
·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性 ·此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料) |
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加热区 |
·加热区长度:300mm 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考,不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系。 |
温控系统 |
·采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序 ·带有超温和断偶保护 ·可选购SGM02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序 |
欧陆仪表(可选) |
·可选购欧陆型温控仪表,控温度可以提升到&±0.1℃。 ·具体详情请致电公司销售。 |
加热元件 |
掺钼铁铬铝合金 |
炉管 |
·石英管口径可选:130mm或100mm ·配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性 ·可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空 |
真空密封法兰 |
·配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封 ·右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵 ·左端法兰上安装有机械压力表,接口为1/4英寸卡套接头,用于连接气瓶 ·真空度:10-2torr (采用机械泵) |
·可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架 ·水冷法兰通入冷却水后,设备额定温度可以达到1100℃(<1小时) |
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真空泵连接 &可选 |
·您可能需要在真空端部安装一个真空阀 ·您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子 |
真空压力表 |
·安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MPa ·可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围为3、8x10-5 -1125 Torr |
铠装热电偶(可选) |
·可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度 ·可选购一个法兰支撑架,防止炉管转动 |
外形尺寸 |
·炉盖关闭时:960mm(L)×500mm(W)×450mm(H) ·炉盖打开时:960mm(L)×660mm(W)×710mm(H) ·控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W)×360mm(H) |
净重 |
48Kg |
质保期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1、耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
应用注意事项 |
·炉管内气压不可高于0.02MPa ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。 ·石英管的长时间使用温度<1100℃ ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |
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