分子泵高真空系统由双级旋片真空泵,涡轮分子泵,真空传感器,分子泵控制器及电气控制等部分组成。抽气口及气路连接口采用KF式快速连接结构,简化安装过程; 搭配我公司生产的真空管式电炉,只需一支卡箍便可完成连接,方便操作。是高温真空烧结、CVD实验、真空退火、材料处理等要求高真空的获得设备之一。 | |
结构特点: 1、系统启动快,抽气时间短,可获得无油污染的清洁真空环境; 2、真空度显示采用科学计数法,数字显示,使用方便直观; 3、测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强; 4、系统操作简单,方便; 5、可抽吸无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,吸入气体中允许混有少量液体。 6、配合HQZ混气系统,一体式炉架结构,可移动,组合、安装方便快捷。 | |
主要用途和适用范围: 用于高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验等精密气体的流量控制。 | |
注意:严禁氢气和氧气同时供气,保证安全 | |
技术参数: | |
常规型号 | ZK-F |
真空范围 | 0.1-0.001Pa |
抽 速 | 110L/S |
极限真空 | 5、0*10^-5Pa |
产品配置 | 双级旋片真空泵+涡轮分子泵 |
测量方式 | 复合真空计 |
真空规管 | 电阻规+电离规 |
冷却方式 | 风 冷 |
工作电源 | AC220V,50/60Hz |
标准配置 | 波纹管1根,真空角阀1个,卡箍3个,真空计1套 |
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